南大光電（淄博）有限公司電子產(chǎn)品用高純六氟化硫技術(shù)改造項目 環(huán)境影響報告書 公示
一、項目概況
山東飛源科技有限公司成立于 2015 年 4 月，位于省政府認定的高青化工產(chǎn)業(yè)園范圍內(nèi)， 公司主要產(chǎn)品有電子級六氟化硫、電子級三氟化氮、氫氟酸等。 山東飛源科技有限公司于 2019 年 5 月 5 日召開臨時股東會議，審議通過了《關(guān)于同意 山東飛源科技有限公司存續(xù)分立的議案》，全體股東一致同意山東飛源科技有限公司進行存 續(xù)分立，分立后山東飛源科技有限公司繼續(xù)存續(xù)，并于 2019 年 7 月 10 日注冊成立山東飛 源氣體有限公司。分立完成后，山東飛源氣體有限公司承接山東飛源科技有限公司除貿(mào)易 業(yè)務外的其余全部業(yè)務。江蘇南大光電材料股份有限公司控股收購了山東飛源氣體有限公 司。因發(fā)展需要，山東飛源氣體有限公司于 2023 年 4 月更名為南大光電（淄博）有限公司 （以下簡稱“南大光電”），企業(yè)名稱變更登記已于 2023 年 4 月 24 日經(jīng)高青縣行政審批服 務局批準。 南大光電現(xiàn)有南北兩個廠區(qū)，一路之隔，南廠區(qū)現(xiàn)有 30 噸/年六氟丁二烯及附屬設施 項目，其他項目均在北廠區(qū)內(nèi)。 南大光電北廠區(qū)現(xiàn)有 3000t/a 六氟化硫裝置，包含 2 座電解車間和 1 座后處理裝置， 其中 1#六氟化硫電解車間為 2000t/a 六氟化硫裝置，2#六氟化硫電解車間為 1000t/a 六氟 化硫裝置；兩座電解車間共用一套六氟化硫后處理裝置。1#六氟化硫電解車間于 2015 年投 產(chǎn)運行，2#六氟化硫電解車間于 2021 年投產(chǎn)運行。 為了提高 1#六氟化硫電解車間的生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，需要對電解槽進行更新。 南大光電（淄博）有限公司擬投資 1300 萬元，在現(xiàn)有 1#六氟化硫電解廠房內(nèi)及六氟化硫 后處理裝置內(nèi)進行技改。將 1#六氟化硫電解廠房內(nèi)現(xiàn)有 80 臺 24 塊極板電解槽更換為 35 塊極板電解槽，同時新增 6 臺 35 塊極板電解槽，電子級六氟化硫電解產(chǎn)能增加 600 噸/年， 技改后 1#電解車間產(chǎn)能擴增至 2600 噸/年；在六氟化硫后處理裝置框架內(nèi)，新增 2 臺精餾 塔、1 臺捕集冷凝器、1 臺堿洗塔、高壓吸附塔 10 臺，后處理能力增加 1500 噸/年，技改 后總處理能力擴增至 4500 噸/年；氫氟酸產(chǎn)能增加 64 噸/年,技改后總產(chǎn)能擴增至 277 噸/ 年。增加 1 臺成品槽和 1 臺充裝泵，環(huán)保措施、儲運及公輔工程均依托現(xiàn)有工程。 技改后，1#六氟化硫電解車間內(nèi)電解產(chǎn)能新增 600t/a，為 2600 噸/年，全廠六氟化硫 電解產(chǎn)能為 3600 噸/年。
二、分析判定情況
本項目生產(chǎn)的電子級六氟化硫?qū)儆谔胤N電子氣體，主要用于電子行業(yè)半導體的清洗和 蝕刻氣，屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導目錄（2024 年本）》中“鼓勵類”，十一、石化化工 7、 專用化學品：低 VOCs 含量膠粘劑，環(huán)保型水處理劑，新型高效、環(huán)保催化劑和助劑，功 能性膜材料，超凈高純試劑、光刻膠、電子氣體、新型顯示和先進封裝材料等電子化學品 及關(guān)鍵原料的開發(fā)與生產(chǎn)中的電子氣，符合國家產(chǎn)業(yè)政策要求。本項目已取得建設項目備 案證明，項目代碼 2301-370300-89-02-370257。 技改項目位于高青化工產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，該園區(qū)屬于山東省政府認定的第三批化工園區(qū)，園 區(qū)功能定位為做大做強氟材料、硼材料、其他新型材料為主的新材料產(chǎn)業(yè)，壯大以化學合 成原料藥及其中間體、化學助劑等為主的精細與專用化學品產(chǎn)品，培育配套的化學原料產(chǎn) 業(yè)。技改項目屬于氟材料，符合園區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃；技改項目用地類型為三類工業(yè)用地， 符合園區(qū)土地利用規(guī)劃。根據(jù)《高青縣國土空間總體規(guī)劃（2021-2035 年）》，南大光電現(xiàn) 有廠區(qū)位于城鎮(zhèn)開發(fā)邊界內(nèi)，不占用永久基本農(nóng)田和生態(tài)保護紅線。 本項目符合《淄博市生態(tài)環(huán)境委員會辦公室關(guān)于印發(fā)<淄博市 2023 年生態(tài)環(huán)境分區(qū)管 控成果動態(tài)更新項目生態(tài)環(huán)境準入清單>的通知》中高青化工產(chǎn)業(yè)園的生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要 求。 根據(jù)項目工程分析，技改項目有組織廢氣主要為電解陰極廢氣、電解陽極廢氣、精餾 塔不凝氣、活化廢氣、氟化氫卸車廢氣、氫氟酸儲罐廢氣。主要污染物為氟化物。無組織 廢氣主要為電解車間及后處理裝置區(qū)無組織排放的氟化物等。項目廢水包括堿洗塔廢水、 除水系統(tǒng)廢水、地面沖洗廢水、生活污水、循環(huán)排污水、初期雨水等。技改項目噪聲主要 來自泵類等設備。項目固廢主要為廢碳板、廢電解質(zhì)、廢吸附劑、廢包裝、廢潤滑油、污 泥、結(jié)晶鹽、生活垃圾等。 根據(jù)項目工程分析情況、周邊環(huán)境特征以及相關(guān)環(huán)評技術(shù)導則，確定環(huán)境空氣的評價 等級為一級，地表水評價等級為三級 B，地下水評價等級為二級，聲環(huán)境評價等級為三級， 環(huán)境風險評價等級為一級，土壤評價等級為一級，生態(tài)影響簡單分析。
三、關(guān)注的主要環(huán)境問題及環(huán)境影響
1、關(guān)注的主要環(huán)境問題
根據(jù)項目的特點，本次評價主要關(guān)注的環(huán)境問題包括：
（1）技改項目的污染防治措施和環(huán)境管理，關(guān)注技改項目所采用的污染防治技術(shù)措施 是否能實現(xiàn)達標排放要求，重點關(guān)注氟化物的全過程防控與末端治理問題。
（2）關(guān)注大氣環(huán)境影響的可接受性。項目位于高青化工產(chǎn)業(yè)園，最近敏感點為程家村（NNW，1170m），重點關(guān)注大氣污染物排放對周邊近距離敏感點的影響。
（3）關(guān)注項目地下水及土壤的相關(guān)污染防治措施。
（4）關(guān)注項目的環(huán)境風險防范措施可行性。
2、技改項目的主要環(huán)境影響
（1）環(huán)境空氣影響
電解陰極廢氣經(jīng)管道密閉收集進入尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)現(xiàn)有兩級水洗+一級堿洗處理后經(jīng) 高 25m 排氣筒（DA001）排放。精餾塔不凝氣經(jīng)一級深冷（液氮-60℃）后與電解陽極廢氣、活化廢氣經(jīng)現(xiàn)有兩級水洗+一級堿洗后經(jīng)高 25m 排氣筒（DA006）排放。氟化氫卸車廢氣、 氫氟酸儲罐呼吸廢氣經(jīng)管道密閉收集進入尾氣處理系統(tǒng)，經(jīng)現(xiàn)有四級水洗+一級堿洗后經(jīng)高15m 的排氣筒（DA016）排放。
上述各排氣筒排放的氟化物排放濃度均滿足《無機化學工業(yè)污染物排放標準》 （GB31572-2015）表 4 標準（氟化物 3.0mg/m 3）。
技改項目無組織廢氣主要為電解車間及后處理裝置區(qū)無組織排放的廢氣，主要污染物 為氟化物。企業(yè)通過加強管理、采用密閉物料輸送方式后，氟化物廠界濃度滿足《無機化學工業(yè)污染物排放標準》（GB31572-2015）表 5 標準要求。
技改項目位于不達標區(qū)，超標因子為顆粒物，技改項目不涉及顆粒物的排放。技改項目新增污染源正常工況排放下各污染物短期濃度貢獻值最大濃度占標率均小于100%，疊加值滿足環(huán)境質(zhì)量標準要求。
（2）水環(huán)境影響
技改項目廢水主要為堿洗塔廢水、除水系統(tǒng)廢水、地面沖洗廢水、生活污水、循環(huán)排污水、初期雨水。
除水系統(tǒng)廢水回用于六氟化硫后處理裝置的水洗塔，循環(huán)排污水經(jīng)配套的電滲析裝置處理后回用于循環(huán)水補水，堿洗塔廢水、地面沖洗廢水、生活污水、初期雨水進入廠區(qū)污水處理站處理達標后排入南岳水務有限公司污水處理廠，最終排入支脈河。項目外排廢水水質(zhì)滿足《無機化學工業(yè)污染物排放標準》（GB31573-2015）表 1 及區(qū)域污水處理廠進水水質(zhì)要求，排入淄博南岳水務有限公司污水處理廠進一步處理后排入支脈河。項目廢水不直 接排入地表水體，對周圍地表水環(huán)境影響較小。
項目正常生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污水及事故狀態(tài)下污水全部經(jīng)封閉管道收集；各涉水環(huán)節(jié)均采取了有效的防滲措施。在嚴格落實防滲措施的條件下，本項目對地下水環(huán)境影響風險較小，綜合考慮地區(qū)水文地質(zhì)條件、地下水保護目標等因素，該項目的建設對地下水環(huán)境影響較小，并且建立完善的地下水監(jiān)測系統(tǒng)后，本項目運行對地下水污染的風險可控。
（3）聲環(huán)境影響
項目主要噪聲源為泵類等設備，在采取降噪措施并經(jīng)距離衰減后，廠界噪聲滿足《工 業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》（GB12348-2008）中的 3 類區(qū)標準（晝間 65 dB(A)、夜間 55 dB(A)）。
（4）固體廢物環(huán)境影響
項目固廢主要為廢碳板、廢電解質(zhì)、廢吸附劑、廢包裝、廢潤滑油、污泥、結(jié)晶鹽、 生活垃圾等。生活垃圾由環(huán)衛(wèi)部門清運，廢碳板、污泥綜合利用，其他均為危險廢物，委托有資質(zhì)單位處置。各類固廢均得到妥善處理。
（5）土壤
項目廠區(qū)及周邊區(qū)域目前土壤環(huán)境質(zhì)量良好；在嚴格落實土壤環(huán)境保護措施的條件下， 本項目對土壤環(huán)境影響較小。
（6）環(huán)境風險
在落實三級防控體系等方面的風險防范措施及應急預案要求后，項目環(huán)境風險水平可接受，工程風險能夠得到有效控制。
（7）防護距離
本項目不需設置大氣環(huán)境防護距離。
